応用量子科学部門
-
純ヘリウム直流グロー放電の陽極表面上で観測された自己組織化発光パターン形成
大気圧直流グロー放電生成時、陽極表面に観測される発光の自己組織化現象のメカニズム解明のために純He環境で気圧を変化させながら発光パターンを調査した。その結果発光パターンは圧力pと電極間距離dの積pdが高いときに現れることがわかった。今後、数学分野で自己組織化現象を得る手法である反応拡散系へ繋げていく。
宮崎俊明、Jan Kuhfeld、佐々木浩一、白井直機
プラズマ支援水電解反応による水素生成技術の開拓
プラズマと水が接触する電解反応である“接触グロー放電”では、ファラデー効率が1を超える現象が報告されているが、その反応機構は未解明である。水中に安定な直流プラズマを生成するプラズマ駆動電解法を開発し、通常の電解と比較して水素発生量が著しく増加する現象のメカニズムを解明し高効率な水素製造技術の確立を目指す。
科学研究費助成事業 挑戦的研究(開拓) 2025.6.27～2029.3.31
課題「次世代半導体微細加工の基盤技術研究開発」内の「レーザープラズマ計測とEUV計測技術開発」
EUV露光に関連する最先端の技術を有する機関と人材を結集し、次世代半導体技術の更なる発展に不可欠とされる革新的基盤技術の研究開発プロジェクトが2025年４月に始動した（全体の研究代表者は理研の緑川克美特別顧問）。研究課題は主に、新規レーザー、EUV用ミラー、後工程用レーザー微細加工技術の開発となる。この中で富田はレーザーで生成されるEUV光源用プラズマの計測と最適化技術の開発を担います。
富田 健太郎, 緑川 克美
経済安全保障重要技術育成プログラム（Kprogram） R7.4.1～R9.3.31
臨界実験を用いたデータ同化手法の実用化に資する次元削減スキームの構築
核反応断面積の不確かさ（共分散行列）は原子炉の安全評価上重要なパラメータが現実的な範囲を評価するために用いられ、近年では臨界実験から得られた知見を取り入れるため、データ同化の適用が重要であるとされている。一方で、データ同化適用後は複雑な相関成分を有する密行列になることにより計算コストが増大することが実用上の課題となっている。本プロジェクトでは、これを解決するための次元削減スキームを構築する。
科学研究費助成事業 基盤研究(C) R7.4.1～R11.3.31